石提纯就是去除杂质,然后多次提纯,让硅片无限接近零杂质,为什么现在反而需要掺杂了?
“总裁你先等会。”
魏华可不懂熔炼掺杂,他只是个提纯人才,不过他不懂,不代表别人不懂。
他连忙一路小跑,把金色品质掺杂人才翟勇带到陈星面前道:“翟工你和总裁解释解释,为什么半导体硅片生产需要掺杂。”
“咳咳。”
翟勇干咳两声,看向陈星耐心讲解道:“这个掺杂和普通的杂质不同,我们去除的杂质,一般是三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅,也就是铁铝元素,而掺杂则是磷、硼、锑、砷等物质……”
“先说磷吧,它是一种五价掺杂物,通常用于N型(负型)硅晶体的制备,磷掺杂可以引入额外的自由电子,从而增加硅的导电性。”
“而硼则是一种三价掺杂物,通常用于P型(IE型)硅晶体的制备。硼掺杂引入额外的空穴(电子缺陷),从而增加硅的电子空穴导电性。”
“还有锑和砷都是五价掺杂物,可用于N型硅晶体的制备,与磷效果差不多。”
“原来如此。”
陈星微微颔首,恍然大悟。
怪不得,沪硅集团搞不出12寸半导体硅片,很有可能就是不懂掺杂技术。
半导体芯片生产环节,真的就是没有哪个步骤简单的,全部都需要技术的积累。
硅石到硅锭,硅锭到多晶硅,多晶硅到掺杂,掺杂之后就是提拉单晶硅棒了。
每一步都有可能出错,每一步是需要攻克的难关,幸好陈星这边最不缺的就是技术。
在翟勇讲解完熔炼掺杂后,韩铭也检测完多晶硅纯度,兴奋二字写满了他整张脸。
“哈哈哈,11N的纯度,这块多晶硅纯度是11N,我们第一次就弄出了11N纯度的多晶硅!”
他拿着那半块多晶硅,有些疯癫地来到陈星面前。
11N纯度,这就意味着这块多晶硅的纯度是99.999999999%,足足11个9!
多晶硅11N,同时也意味着单晶硅也会11N,只要他们能顺利熔炼生产出来。
这就相当于打基础,多晶硅品质不过关的话,那单晶硅的品质肯定不会过关,因为下一步就是熔炼掺杂,后续也没有提纯环节了,现在多晶硅纯度多少,生产出来的单晶硅片纯度就是多少。
“真是11N?”
陈星心中一喜,连忙询问道。
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