将本站设为首页
收藏武艺官网,记住:www.51fdbx.net
账号:
密码:

武艺书院:看啥都有、更新最快

武艺书院:www.51fdbx.net

如果你觉得好,恳请收藏

您当前的位置:武艺书院 -> 我的一九八五 -> 第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题

第一一一八章 浸没式光刻系统遇到难题

温馨提示:如果本章属于内容错误等情况,请点击下面的按钮发送报告,我们会在一分钟内纠正,谢谢

机已经临近尾声。

“邓院长,研究院继续研发8英寸晶圆和500nm工艺的光刻机。”

“好的,董事长!”

“魏总,公司争取早日生产出一条具有自主知识产权的6英寸晶圆和800nm制程工艺的半导体生产线,到时,pgca率先订购一条。”

“好的,董事长!”

------

“董事长,经过近2年的联合攻关,研究证实,我们用去离子水等手段,保持水的洁净度和温度,使其不起气泡,用去离子水作为曝光介质,虽然光源波长还是用原来的193nm,但通过去离子水的折射,能使进入光阻的波长明显缩小,使用浸没式技术突破193nm波长可行,我们如今遇到的最大难题是我们自己制造的光学镜头不能满足突破193nm波长光刻光学器件的技术要求。”

浸没式光刻技术联合攻关组组长陈伟长院士给孙健汇报浸没式光刻技术的最新进展,总经理魏建国、院长邓国辉院士、副院长欧阳民院士、联合攻关组副组长夏季常院士和光源研究所所长钱富强研究员也在场。

1994年,钟德伟教授和夏季常教授凭借研究成功全球独一无二的光刻机悬浮式双工作台系统技术项目成果,晋升工程院院士。

1995年,陈伟长研究员凭借研究成功1um制程工艺的光学系统技术项目成果,欧阳民研究院凭借研制成功6英寸晶圆技术项目成果,同一批晋升工程院院士。

同年,钱富强副研究员在自主制造arf准分子激光器的工作中做出重大贡献,晋升研究员,担任光刻机光源研究所所长。

邓国辉院士不再兼任光刻机光源研究所所长,集中精力主持光刻机半导体研究院的整体研究工作。

浸没式光刻技术在bsec属于严格保密的研究项目,属于在研项目的第一号,由光刻机光学研究所、光刻机光源研究所和光刻机自动化研究所相关研究人员和高级技师组成,联合攻关组由陈伟长院士和夏季常院士领衔,所有参与者同bsec签订了保密协定。

“陈副院长,据我所知,虽然蔡氏公司专门为gca和asml研发成功的starlith 900,是世界上第一个批量生产的 193nm波长光刻光学器件,也是第一个可以实现100nm以下分辨率的系统,但浸没式光学镜头与众不同,蔡司公司、尼康公司和佳能公司如今都还没有开始研制,只能我们自己研制和生产,我们也不需要太过着急,一步步来,从零部


  本章未完,请点击下一页继续阅读!

看了《我的一九八五》的书友还喜欢看

人在中世纪,抽卡升爵
作者:疯狂的石头怪
简介: 网文填坑节来袭,独家番外连载爆更,大佬包场免费看。洛萨带着自己正在开发的山寨抽卡手游...
更新时间:2025-03-15 23:59:45
最新章节:第一百三十八章麻风病的治愈方法
木叶:宇智波华丽的叛逆
作者:神水一元
简介: 宇智波一族的覆灭真的是罪有应得吗?不,宇智波只是木叶权力斗争下的牺牲品。
<...
更新时间:2025-03-16 01:02:00
最新章节:第369章 同意
人生副本游戏
作者:我爱小依
简介: 【你觉得人生无趣吗?】

【你想要体验一下另一个世界的不同人...
更新时间:2025-03-16 01:48:12
最新章节:第一千三百八十九章:秘药的位置(大章求月票)
穿呀!主神
作者:幽幽弱水
简介: 希宁醒来后,除了名字,忘记了一切。吊炸天的系统不耐烦地通知:做任务去。
更新时间:2025-03-16 01:15:00
最新章节:第2633章 复活5
东莞岁月
作者:城市过了
简介: 90年代沿海城市经济腾飞,他们站在时代的风口浪尖,借着改革春风迅速发展,以狂野的姿态...
更新时间:2025-03-16 01:11:27
最新章节:第895章、再次负伤
九天斩神诀
作者:小知了
简介: 武道争锋,红颜不老,多少无敌者谱写这璀璨时代,然世间圣佛魔妖,人杰英豪,皆在神下!<...
更新时间:2025-03-16 00:31:11
最新章节:第2065章 力敌鸿蒙殿