之前纳米图形加工都由光刻机完成,如果他们能够通过陈神提供的思路和方案绕开光刻工序的话,那碳基芯片的生产工艺就可以说完全掌握在他们手里了。
众人在刻蚀机前面站成一团,都觉得自己的心跳有点快,似乎在等待着命运的宣判。
终于,里面的基片加工完成被自动送出了机器,工程师们马上上前把基片取出。
“快快,送过去检测区,我们马上看看结果!”刘院士迫不及待地说道,他紧紧跟在送检工程师的身后,好像牧羊人在驱赶绵羊。
基片在进行过简单的处理后送上检测台,显微图像在电脑上面显示出来,众人的注意力顿时被吸引过去。
所有人都紧紧盯着电脑屏幕,只要上面检测出来他们设计的刻蚀图形那么这下一步也就跟着一起成功了。
陈神老神在在地看着屏幕,相比之下刘院士和邓自明教授两人比他这个技术的提供者都要紧张得多,两人呼吸粗重得像刚跑完一千米。
很快,检测结果显示在屏幕上面。
刘院士扒拉开操作的工程师,第一个凑到屏幕前观看,邓自明教授次之,陈神被挤到第三位去,其他人只能站在后面伸长脖子,寻找合适的角度。
屏幕上的图像显示,基片上面存在着许多个或点或线大小不同的图形,这些图形如果用肉眼去看完全看不出来,只有在仪器下面才可以看到它们的具体形状。
这些位置是用来放置构建源极和漏极所需要的特殊金属的。
“怎么样怎么样?”
后面挤成一团的研究员们伸长了脖子,也看不到屏幕上面的细节,只能出场询问。
刘院士看了屏幕上面自动测量的各处图形尺寸,又自己做了一番比对,确定这与他们设计的尺寸一致,这才拍拍胸口,转头宣布道:“没有问题,我们的印刷机成功在基片上面定义了图形,并且在离子刻蚀机的处理下加工出了完美的纳米图形!”
“各位这段时间来的日夜努力都没有白费!”
说完刘院士让开位置,给身后的研究员们一个观察的机会,他独自一人把陈神拉到一边。
“你是怎么想出来这套方案的?我和邓教授研究碳基集成电路已经几十年了,连你的屁股都没摸着!”刘院士看着陈神,心中对他已经惊为天人。
他和其他人研究了几十年的东西,结果陈神这个看起来跟碳基芯片完全不相关的人,只花了极短的时间就搞出了一套成熟的方案,怎么能不让
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