新芯沟通好了。
“好的,陈记者,你问吧。”林本坚很淡定,他刚刚做完介绍,还没有从前面介绍中的兴奋状态中脱离出来,对于和陈晓夏的沟通,他属于机械式反应。
“林博士,第一个问题,您觉得新芯的技术突破意味着什么?对于光刻机领域,对于半导体领域来说?”
“意味着困扰业内长达二十年的光源问题得以解决,从90年代开始,光源波长就从365nm降低到了193nm,但是业界一直无法实现突破。
新芯这次实现了光源波长的突破,从40nm到20nm都将是一马平川,再无困难点阻碍。
半导体行业依然会按照摩尔定律继续发展,一直到遇到新的瓶颈。”林本坚说得云淡风轻,心里却很得意。
他在现场看到了之前IBM的老熟人,也是他的对手,IBM光源团队的负责人鲍里斯·利普金。
之前在IBM的时候,他坚持深紫外光或者浸润法来突破193nm波长的限制,而鲍里斯坚持X光,林本坚后来被IBM“内部退休”和鲍里斯不无关系。
看到台下的敌人、朋友、对手、合作伙伴,大家虽然有着不同的立场,但是都在为半导体技术又一次进步而鼓掌而高兴,这技术进步是自己带来的,林本坚感到由衷的开心。
陈晓夏不太能体会林本坚的心情,他知道这很重要,不重要央妈也不会派一整个团队跑过来,他不知道具体有多重要,听完林本坚的回答后,陈晓夏有了更加直观的感受。
20年的难题被解决了,这确实是值得大书特书的事情,还是由我们华国的企业实现了这一突破。
“林博士,这次的技术突破你们是如何做到的?如何超越尼康、佳能以及荷兰的ASML这些公司?
他们在光刻机领域都有着比较悠久的历史,新芯是如何实现的赶超呢?”
林本坚说:“因为我们选择了正确的方向。
我们采取的是和其他公司都截然不同的方向。
在上世纪90年代末的时候,当时业内就提出了各种各样突破193nm波长的方案,其中包括157nm F2激光,电子束投射,离子投射、深紫外光和X光等等。
其中X光、电子束投射、离子投射都太遥远了,属于是有这个想法,理论来说可行,材料学的现状决定了不现实,这些只是前置研究。
最普遍的是157nm的F2激光,尼康、佳能、ASML都走的是这一技术路线。
本章未完,请点击下一页继续阅读!