斯麦的技术路线。
若是真能实现,直接从根源上避开了阿斯麦的专利。
毕竟极紫外光源的产生方式都不一样,也就没有侵犯专利这一说了。
国产技术突破的难度,不只是要做出同样的产品和等效的技术,还要避开西方的专利壁垒,采取完全不同的技术路线。
这就难上加难了。
但即便如此,前世依旧把工业皇冠上的明珠,差点全部摘秃噜皮。
秦主任笑着伸出手:“谢谢,你这些观点很重要,我这就上报。无论如何,都很感谢。”
“主任言重了,若是我说得不对,你们就当我瞎说,海涵。”
“呵呵,那不会。科学的探索本就是知无不言,言无不尽。何况是这么别出心裁的建议,意义重大!”
王逸摆了摆手:“不成熟的想法罢了,希望有点参考价值。光刻机这个东西难,光刻胶也难,都得看国家机器了。”
秦主任点点头:“放心,光刻胶也是官方大力扶持的领域,必须突破!”
王逸松了口气,若是这些难题官方都逐步搞定,那就稳了。
又交流了一番,王逸离开管委会。
而秦主任则直奔某机要之地,汇报王逸的想法。
不管成不成的,都是一个新的思路,让院士专家鉴定一下也好。
不成,可以当做一个思路,有借鉴意义。
若是成了,那就再好不过,弯道超车都有可能。
届时,王逸都是大功一件。
没办法,造晶圆厂可以,研发芯片也可以,但研发光刻机,王逸真办不到。
太难了。
只能把自己知道的思路都说了,多少提供点帮助。
若是光刻机厂建成,国产EUV突破,那就再好不过。
但若是突破不了,也没有办法,只能用DUV光刻机多重曝光技术,凑合着来。
至于国产DUV光刻机,现在官方大力扶持,最快也得四五年才能研发成功。
王逸的晶圆厂一期今年年底就能建好,根本等不了。
还得先订购阿斯麦的DUV光刻机啊!
阿斯麦的光刻机都得提前一年左右订购。
2012年年初订货,2013年年初交货就不错了。
届时正好晶圆厂交付,到货直接安装调试。
所谓兵马未动,粮草先行。
半导体大牛和技术人才
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